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Tescom-P-64-3600

TESCOM™ 64-3600 シリーズ高感度圧力レギュレータ

製品概要

64-3600 シリーズの超高純度、高感度減圧レギュレータでは、低ドループ、連結ダイヤフラムの設計、0.25 マイクロメートル / 10 Ra の表面処理が Hastelloy® トリムで提供されます。入口圧力は 41.4 または 241 bar / 600 または 3500 psig で、出口圧力は最大 10.3 bar / 50 psig です。1/4 "ユースポイント、ガスキャビネット、半導体製造、バルブ・マニホールド・ボックスでの使用に理想的です。

圧力定格
最大入口圧力: 41.4 または 241 bar / 600または3500 psig
出口圧力レンジ: 2.1、4.1、6.9、10.3 bar / 30、60、100、150 psig
本体材質
316L ステンレス鋼電解研磨または 316L VAR ステンレス鋼電解研磨
ダイヤフラム
Hastelloy®
バルブシート
PCTFE、Teflon PFA® または Vespel®
ステム&バルブスプリング
316 ステンレス鋼
残りの部品
316ステンレス鋼またはHastelloy® 
動作温度
Teflon® PFA シート: -40 ~160°F / -40 ~71°C
Vespel® シート: -40 ~350°F / -40 ~177°C
PCTFE シート: -40 to~140°F / -40 ~60°C
ポートサイズとタイプ
1/4"、1/2"
雄型スイベル、雌型スイベル、雄型固定、HPIC
1/4" チューブスタブ
流量係数
Cv = 0.15 または 0.06
重量
0.9 kg (2 lb)
追加情報
カスタム修正または完全なシステムソリューションについては、最寄りの販売店にお問い合わせください。

機能

  • 0.25 マイクロメートル / 10 Ra マイクロインチの内部表面処理
  • メタルシール(ダイヤフラムが本体をシールし、優れたリーク完全性を実現)
  • 完全内部電解研磨を選択可能
  • 半導体ガスシステムで圧力変動を低減するように設計されています。
  • ポイントオブユース用途とシリンダ用途の両方で厳しい半導体要件を満たしています

文書と図面